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半導體烘烤設備

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無氧烘箱、防氧化烤箱

無氧烘箱、防氧化烤箱無氧烘箱，在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板。

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更新日期
2025-09-16

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無氧烤箱，厭氧烘箱

無氧烤箱，厭氧烘箱廣泛用于航天、石油、化工、電子、通訊等科研及生產單位做材料、零件、設備等的高溫潔凈和無氧干燥及老化試驗。

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2025-09-16

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無塵潔凈烤箱，精密潔凈烘箱

無塵潔凈烤箱，精密潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門

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2025-09-16

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光刻膠高溫固化烤箱，半導體高溫烤箱

光刻膠高溫固化烤箱，半導體高溫烤箱適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業。應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，箱內空氣封閉自循環，經耐高溫高效空氣過濾器（100級）反復過濾，使烘箱工作室內處于無塵狀態。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。

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2025-09-16

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HMDS真空烤箱，全自動HMDS預處理系統

HMDS真空烤箱，全自動HMDS預處理系統通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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