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  • 半導體烘箱，封裝無塵烤箱
    半導體烘箱，封裝無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門 ； 無塵烘箱用于LED封裝膠水固化，銀膠固化，支架烘干，前固化，后固化；晶圓光刻前烘（軟烘）、后烘（硬烘）、堅膜烘烤。
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  • 無氧化烘箱，無塵無氧固化烤箱
    無氧化烘箱，無塵無氧固化烤箱，半導體高溫烤箱應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業。
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  • 硅片光刻預處理系統，芯片hmds烘箱
    硅片光刻預處理系統，芯片hmds烘箱用在芯片、晶圓、硅片等半導體在光刻前對wafer進行預處理,在高溫高真空的狀態下均勻噴灑霧狀“OAP”藥液并在氮氣保護下烘干以增強wafer的光刻性能。
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  • 前烘潔凈烘箱，軟烘充氮烘箱 真空干燥烘箱
    前烘潔凈烘箱，軟烘充氮烘箱涂膠后，晶片須經過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高。
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  • 晶圓潔凈烘箱，光刻硬烘烤箱
    晶圓潔凈烘箱，光刻硬烘烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。Z小限度控制風速距離。
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