HMDS蒸鍍系統，無塵HMDS烤箱概述

HMDS蒸鍍系統，無塵HMDS烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

特點

Ø  更加節省藥液：實踐證明，用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多。

Ø  更加環保和安全：HMDS是有毒化學藥品，人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環境造成污染。 

Ø  自動吸取HMDS功能：智能型的程式設定，一鍵完成作業。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

技術參數

Ø  材質： 外箱采用304不銹鋼或優質冷軋板噴塑，內箱采用316L醫用級不銹鋼

Ø  電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.5KW   

Ø  控制儀表：人機界面

Ø  擱板層數：2層

Ø  HMDS控制：可控制HMDS藥液的添加量

Ø  真空泵：旋片式油泵或進口無油泵

Ø  保護裝置： 超溫保護，漏電保護，過熱保護等

Ø  加熱系統：由于工藝的整個過程都需要在200℃左右的環境下進行，所以自始至終加熱系統都在工作。本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱，每個熱板都采用人工智能PID調節儀實現閉環控制，調節儀控制固態繼電器的輸出從而實現溫度的精確穩定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。