晶圓無氧化烘箱，藍寶石厭氧烘箱簡介：
  充氮厭氧烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
晶圓無氧化烘箱，藍寶石厭氧烘箱特點
1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
2、耐高溫，可以達到和工作場同樣的地潔凈等級；
GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件 
GB2423.2-1989試驗B
潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。 
潔凈烘箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。
技術參數：
1.名稱：充氮厭氧烘箱 
2、主要技術指標：
2.1溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；
2.2溫度偏差：≤±2.0℃；
2.3升溫速度：≥5℃/min（全程平均）；
2.4工作尺寸：W800×H800×D1000mm
2.5電源：AC380V 50HZ 12KW 
厭氧烘箱，無氧化烘箱結構：
3.1箱體材料：外箱采用優質磁性拉絲不銹鋼；
3.2內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；
3.3保溫材料：超細玻璃棉； 
3.4排 氣 口：ф50；
3.5 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG；
3.6空氣循環裝置：大容量軸流電機；
3.7加熱方式：不銹鋼電加熱器；
厭氧烘箱，無氧化烘箱溫控系統
4.1溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
4.2控制儀表：進口數顯溫度控制器，PID調節，控制精度0.1℃；
4.3超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統，保證試驗品的安全；
4.4控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；