加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM
晶圓精密循環烤箱，硅片循環烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結構、材質強度、保溫、循環風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環系統為水平式循環送風，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值。
潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。
晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱
硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結構。工作室內溫度采用智能式數顯溫度控制儀進行自動控制P.I.D調節,數顯時間控制,并設有斷路及超溫報警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。
SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS
