HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統，HMDS預處理系統等。半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長時間后在其表面形成極性OH鍵。這種襯底是親水性的，因此對光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性，可以用化學方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上，需要HMDS烘烤箱來處理。

 HMDS烘箱處理的優勢HMDS是蒸發鍍膜，涂布厚度佳、均勻性好。旋涂式涂布厚度較厚，烘烤過程中有氨氣釋放，導致一些不利情況出現。